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      EN
      產品名稱:XYZ直線電機滑臺
      產品概要:
      -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
      -- 精密交叉滾柱導軌。
      -- 主體鋁合金材質
      產品精度:
      -- XY軸重復精度±100nm
      -- Z軸重復精度±200nm
      產品名稱:XYθ平臺
      產品概要:
      -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
      -- 小行程精密運動場合;
      產品精度:
      -- XY軸重復精度±0.5μm
      -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
      產品名稱:耦合平臺
      產品概要:
      -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
      -- 適用光纖耦合;
      產品精度:
      -- XYZ軸重復精度0.3μm
      -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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